高效节能的真空设备
专利权的终止
摘要
本实用新型公开了一种高效节能的真空设备,其包括真空室、真空室室盖、翻板阀门组件及精抽阀门组件,真空室室盖盖于所述真空室上,翻板阀门组件安装于所述真空室内,精抽阀门组件安装于所述真空室侧面上,其中真空室室盖的底壁有一部分下凸,底壁下凸的部分伸入到真空室内。这样,真空室室盖的底壁下凸的部分与真空室的底壁之间的距离大大减少,从而使真空室的容积大大减少,所以缩短了对真空室的抽气时间、节省了电能并提高生产率,另外由于真空室室盖是整体结构,维修调整翻板阀门组件时只需整个室盖吊开即可,人人可站到真空室里面操作,所以便于维修保养。
基本信息
专利标题 :
高效节能的真空设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720059169.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-11-05
授权号 :
CN201121206Y
授权日 :
2008-09-24
发明人 :
苏贵方
申请人 :
苏贵方
申请人地址 :
526060广东省肇庆市彩云路新世界花园新湖苑2栋2A
代理机构 :
广州三环专利代理有限公司
代理人 :
郝传鑫
优先权 :
CN200720059169.X
主分类号 :
C23C14/22
IPC分类号 :
C23C14/22 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
法律状态
2016-12-21 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101693232844
IPC(主分类) : C23C 14/22
专利号 : ZL200720059169X
申请日 : 20071105
授权公告日 : 20080924
终止日期 : 20151105
号牌文件序号 : 101693232844
IPC(主分类) : C23C 14/22
专利号 : ZL200720059169X
申请日 : 20071105
授权公告日 : 20080924
终止日期 : 20151105
2008-09-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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