真空设备的加热装置
专利权的终止
摘要
一种真空设备的加热装置，直立设置于该真空设备的一腔体内部，其包含一座基座、一个呈直立状地设置于该基座的一表面上的支撑齿条架以及一面盘曲形发热体。该盘曲形发热体面对该基座的该表面，且可脱离地插挂定位于该支撑齿条架上本实用新型整体具有极佳加热效率与维护便利性。
基本信息
专利标题 ：
真空设备的加热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200820001853.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2008-01-17
授权号 ：
CN201158700Y
授权日 ：
2008-12-03
发明人 ：
黄泳钊汪明义
申请人 ：
北儒精密股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾台南县新市乡环东路二段23号
代理机构 ：
北京邦信阳专利商标代理有限公司
代理人 ：
王昭林
优先权 ：
CN200820001853.7
主分类号 ：
C23C14/26
IPC分类号 ：
C23C14/26
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/26
电阻加热蒸发源法或感应加热蒸发源法
法律状态
2015-03-11 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101601134928
IPC(主分类) : C23C 14/26
专利号 : ZL2008200018537
申请日 : 20080117
授权公告日 : 20081203
终止日期 : 20140117
号牌文件序号 : 101601134928
IPC(主分类) : C23C 14/26
专利号 : ZL2008200018537
申请日 : 20080117
授权公告日 : 20081203
终止日期 : 20140117
2008-12-03 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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