具有抽真空装置的真空设备

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种具有抽真空装置的真空设备，包括：一个真空腔座及一个抽真空装置，该真空腔座包括一个界定出一腔室的腔壁，以及一个安装在腔壁上的门板，该腔壁具有一个底壁部，以及一个具有一门孔并供门板安装的侧壁部。而该抽真空装置包括一个粗抽泵、一连接在底壁部的一第一抽气口及粗抽泵间的第一管路、一个安装在门板的一个第二抽气口处的高真空泵，以及一个连接高真空泵及第一管路的第二管路。借将高真空泵安装在门板上，不仅让高真空泵在维修及安装上更方便，也可以使第二抽气口远离第一抽气口，以达到提高抽气真空均匀度的目的。

基本信息

专利标题：

具有抽真空装置的真空设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820006108.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-02-03

授权号：

CN201187459Y

授权日：

2009-01-28

发明人：

黄泳钊许三益郑博仁

申请人：

北儒精密股份有限公司

申请人地址：

中国台湾台南县新市乡环东路2段23号

代理机构：

中国商标专利事务所有限公司

代理人：

万学堂

优先权：

CN200820006108.1

主分类号：

F04D19/04

IPC分类号：

F04D19/04