真空设备的抽气装置
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种真空设备的抽气装置,使真空设备的真空室形成并维持真空状态,其包括真空管道、粗抽排气系统、放气阀及负压站系统,粗抽排气系统通过真空管道与真空室连通,包括依次串联于真空管道上粗抽阀及粗抽泵,放气阀一端通过真空管道分别与真空室和粗抽排气系统连通,另一端与外界相通,负压站系统包括负压站阀及密闭的负压站室,负压站阀一端与粗抽泵和粗抽阀连通,另一端与负压站室连通。由于增加了负压站系统,使得当对真空室进行抽气时一部分气体经负压站阀窜到真空室里,则无需抽到户外缩短了时间,装卸工件时粗抽泵对负压站室抽气使之具备一定的真空状态,不至于空载运转而节约电能,且减轻对粗抽泵的负载,提高了生产率。

基本信息
专利标题 :
真空设备的抽气装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720059168.5
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-11-05
授权号 :
CN201121208Y
授权日 :
2008-09-24
发明人 :
苏贵方
申请人 :
苏贵方
申请人地址 :
526060广东省肇庆市彩云路新世界花园新湖苑2栋2A
代理机构 :
广州三环专利代理有限公司
代理人 :
郝传鑫
优先权 :
CN200720059168.5
主分类号 :
C23C14/56
IPC分类号 :
C23C14/56  
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C23
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备;维持真空的装置,例如真空锁定器
法律状态
2016-12-21 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101693228763
IPC(主分类) : C23C 14/56
专利号 : ZL2007200591685
申请日 : 20071105
授权公告日 : 20080924
终止日期 : 20151105
2014-03-05 :
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101696183331
IPC(主分类) : C23C 14/56
专利号 : ZL2007200591685
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 苏贵方
变更后权利人 : 肇庆市大力真空设备有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 526060 广东省肇庆市彩云路新世界花园新湖苑2栋2A
变更后权利人 : 526060 广东省肇庆市端州一路大桥东侧宾日村口对面
登记生效日 : 20140207
2008-09-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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