真空抽气装置

专利权的终止

摘要

一种真空抽气装置，与一待抽气空间连通，包括一第一泵(pump)、一第二泵，以及一控制电路。控制电路与第一泵及第二泵电性连接，用以选择性控制第一泵及第二泵的运作。当控制电路控制第一泵单独启动时，第一泵用以将待抽气空间抽气为一第一真空环境；当控制电路控制第一泵及第二泵同时启动时，第一泵及第二泵用以将待抽气空间抽气为一第二真空环境。第二真空环境的压力小于第一真空环境的压力。

基本信息

专利标题：

真空抽气装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1959108A

申请号：

CN200510119335.6

公开（公告）日：

2007-05-09

申请日：

2005-11-02

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

出永川曾国邦

申请人：

旺宏电子股份有限公司

申请人地址：

台湾省新竹科学工业园区

代理机构：

北京市柳沈律师事务所

代理人：

魏晓刚

优先权：

CN200510119335.6

主分类号：

F04B37/14

IPC分类号：

F04B37/14 F04B41/06 F04B49/06 H01L21/00