抽气装置及真空传送系统

授权

摘要

本申请提供了一种抽气装置，用于实现连通的反应腔体和传送腔体之间的压力平衡。抽气装置包括连通反应腔体上的第一抽气组件、连通传送腔体上的第二抽气组件、以及连接于第一抽气组件和第二抽气组件之间的连接组件。第一抽气组件包括自动压力控制阀、高分子泵、第一真空泵、环形小管和旁通阀，且环形小管和旁通阀与自动压力控制阀并联；第二抽气组件包括第二真空泵；连接组件包括连接管道和连接阀。本申请抽气装置能够实现反应腔体和传送腔体之间的真空传送，使得两个装置之间的腔门打开之前，两个装置内的压力差相对平衡，进而避免传送过程中聚合物扬起污染产品表面，达到提升产品良率的效果。

基本信息

专利标题：

抽气装置及真空传送系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202022215664.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-09-30

授权号：

CN213026078U

授权日：

2021-04-20

发明人：

林帅苏财钰肖峰张彬彬苟先华

申请人：

重庆康佳光电技术研究院有限公司

申请人地址：

重庆市璧山区璧泉街道钨山路69号（1号厂房）

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司

代理人：

熊永强

优先权：

CN202022215664.3

主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/677