一种适用于真空设备的加热机构
授权
摘要
本实用新型公开了一种适用于真空设备的加热机构，包括：加热模块以及与加热模块连接的检测模块，用于对加热模块对应的真空容器的加热区域进行加热；加热模块包括加热丝以及温度控制器，温度控制器控制对应的加热模块温度，使若干加热模块之间的温度均匀；检测模块包括固定环以及设置在固定环内的温度传感器，加热丝从固定环内环穿过，且与温度传感器贴合；固定环与真空容器的表面可拆卸连接；温度控制器与对应的温度传感器电连接，用于根据接收到的对应的加热区域的温度，并控制对应的加热丝的加热温度，以使加热区域的温度达到目标温度，本实用新型通过可拆卸式的固定环，能够便捷的调节加热丝的弯曲布置结构，从而提供适应性的加热效果。
基本信息
专利标题 ：
一种适用于真空设备的加热机构
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202220258780.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2022-02-09
授权号 ：
CN216752139U
授权日 ：
2022-06-14
发明人 ：
周广福韩广龙高洪涛
申请人 ：
苏州昶明微电子科技合伙企业（有限合伙）
申请人地址 ：
江苏省苏州市中国（江苏）自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区星明街288号星明大厦235室
代理机构 ：
北京中仟知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李祥旗
优先权 ：
CN202220258780.X
主分类号 ：
H05B3/54
IPC分类号 ：
H05B3/54 H05B3/02
法律状态
2022-06-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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