固定装置及纳米探针检测装置
授权
摘要

本实用新型提供了一种固定装置及纳米探针检测装置,其中固定装置用于固定一样品,包括辅助基座、固定器及调节螺栓,所述辅助基座内具有安装孔和螺纹孔,所述安装孔和所述螺纹孔均从所述辅助基座的表面延伸进所述辅助基座内,所述安装孔和所述螺纹孔相互垂直且相互连通,所述固定器的一端伸入所述安装孔内,另一端露出所述安装孔以固定所述样品,所述调节螺栓从螺纹孔伸入所述安装孔中以固定所述固定器。通过辅助基座和调节螺栓对所述固定器进行限位,防止所述固定器在样品固定的过程中晃动,从而保证所述样品在测试过程的稳定性,并且,在收取样品时,使调节螺栓朝远离连接杆的方向移动,能够轻易的将固定器取出,不容易对固定器造成损伤。

基本信息
专利标题 :
固定装置及纳米探针检测装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921866200.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-10-30
授权号 :
CN211043432U
授权日 :
2020-07-17
发明人 :
赵新伟凌翔武城
申请人 :
上海华力微电子有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区良腾路6号
代理机构 :
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
曹廷廷
优先权 :
CN201921866200.X
主分类号 :
G01Q30/02
IPC分类号 :
G01Q30/02  G01Q30/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01Q
扫描探针技术或设备;扫描探针技术的应用,例如,扫描探针显微术
G01Q30/00
用于辅助或改进扫描探针技术或设备的辅助手段,例如显示或数据处理装置
G01Q30/02
非SPM的分析装置,例如,SEM,分光计或光学显微镜
法律状态
2020-07-17 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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