一种大颗粒金刚石的制备装置
授权
摘要
本实用新型涉及金刚石制备技术领域，具体涉及一种大颗粒金刚石的制备装置，包括沉积腔体，还包括吹气单元、排气单元和等离子体单元，吹气单元设有进气管路，进气管路伸入沉积腔体一端设为喇叭状开口，并在喇叭状开口处设有若干个吹气小孔，本实用新型通过设置于喇叭状开口处的若干个吹气小孔吹出气流，使得进气管路内的气压大于沉积腔体内的气压，两者的压力差使得金刚石籽晶悬浮在进气管路喇叭状开口处上方并三维旋转，从而实现籽晶可以在三维方向均衡生长。
基本信息
专利标题 ：
一种大颗粒金刚石的制备装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921878345.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-10-31
授权号 ：
CN211079407U
授权日 ：
2020-07-24
发明人 ：
王忠强丁雄傑王琦张国义
申请人 ：
北京大学东莞光电研究院
申请人地址 ：
广东省东莞市松山湖园区沁园路17号1栋2单元306号
代理机构 ：
东莞恒成知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
邓燕
优先权 ：
CN201921878345.1
主分类号 ：
C30B29/04
IPC分类号 ：
C30B29/04 C30B25/00
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼；具有一定结构的均匀多晶材料的制备；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理；其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/02
元素
C30B29/04
金刚石
法律状态
2020-07-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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