一种电阻蒸发加热器结构

授权

摘要

本实用新型公开了一种电阻蒸发加热器结构，包括上盖，所述上盖的下端前部和后部均固定焊接有外层套板，且两个外层套板的下端共同焊接有下盖，所述下盖的上端中部固定连接有坩埚，所述下盖的上端设置有加热机构，所述外层套板的内壁上设置有保温机构，所述上盖的上端中部开设有放置孔，所述外层套板与下盖的下端四个角上均固定焊接有贴片接触板。本实用新型所述的一种电阻蒸发加热器结构，通过加热器外增加高温金属材质保温盒，全部由高温金属(钽、钼)薄板焊接/铆接制成，从而达到对温度的保存，减少热量的流失，增加热量的利用率，而内部的加热片均以坩埚围绕，从而来实现对坩埚的均匀加热的效果，使整个镀膜过程中简单稳定。

基本信息

专利标题：

一种电阻蒸发加热器结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921893502.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-05

授权号：

CN210868187U

授权日：

2020-06-26

发明人：

姜寰

申请人：

沈阳中科汉达科技有限公司

申请人地址：

辽宁省沈阳市东陵区白塔镇大羊安村

代理机构：

北京久维律师事务所

代理人：

邢江峰

优先权：

CN201921893502.6

主分类号：

H05B3/02

IPC分类号：

H05B3/02