一种三重旋转涂层装置
授权
摘要
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种三重旋转涂层装置，解决现有技术中存在载物量小、工作效率低的缺点，包括底座和驱动主轴，所述底座的顶部分别通过螺栓固定连接有第一支撑杆和第二支撑杆，所述第一支撑杆的端部焊接有内圈，所述第二支撑杆的一侧焊接有外圈，通过内圈、第二环形齿条、第一自转齿轮、第二自转齿轮等结构的设置，该涂层装置在设备中增设了一个内圈和用于承载工件的多个夹具，在不改变其他投入成本的情况下，增大了涂层装置的载物量，空间利用率高，结构紧凑，一次性可完成多个数量的涂层处理，大大地提高了设备的工作效率，适合推广使用。
基本信息
专利标题 ：
一种三重旋转涂层装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921895434.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-06
授权号 ：
CN210736879U
授权日 ：
2020-06-12
发明人 ：
海玉龙郭红波周杰
申请人 ：
苏州赛睿达纳米科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区胜浦佳胜路3号、4号厂房四层
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921895434.7
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-06-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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