一种低摩擦阻力旋转涂层载盘
授权
摘要
本实用新型公开了一种低摩擦阻力旋转涂层载盘，包括：承载组件，包括分别上下布置的上承载盘、下承载盘，上承载盘、下承载盘各自呈水平布置；转动组件：包括设置在上承载盘、下承载盘之间的棘轮，棘轮通过同心的转轴垂直连接上承载盘、下承载盘，在棘轮与下承载盘之间安装石墨垫圈，石墨垫圈套在转轴上，棘轮由拨叉拨动实现绕自身轴线的转动；同一个转轴上穿套的石墨垫圈至少为两个，相邻的石墨垫圈之间还接触有铜垫圈，棘轮与上承载盘之间均在间隙。采用此实用新型降低转轴和下承载盘间的摩擦系数，使旋转过程顺畅，不会因转动过程中摩擦力过大产生碎屑和粉尘，产品的涂层均匀性和外观良率得到进一步提升。铜垫圈可以作为支撑。
基本信息
专利标题 ：
一种低摩擦阻力旋转涂层载盘
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920662848.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-09
授权号 ：
CN210176946U
授权日 ：
2020-03-24
发明人 ：
毛昌海祖全先
申请人 ：
艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市昆山市陆家镇集福路388号
代理机构 ：
苏州华博知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐典
优先权 ：
CN201920662848.9
主分类号 ：
C23C14/50
IPC分类号 ：
C23C14/50
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/50
基座
法律状态
2020-03-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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