COW片载盘

授权

摘要

本实用新型公开了一种COW片载盘，涉及检测技术领域。载盘包括外环和有一中心通孔的环形连接部，外环内侧面与环形连接部外侧面紧密接触；载盘还包括嵌于中心通孔中的中心置物盘，中心置物盘包括上表面、下表面和侧面，上表面和下表面平行，中心置物盘侧面与环形连接部内侧面紧密接触；在垂直于中心置物盘底面的方向上，外环、环形连接部和中心置物盘的底面位于同一水平面，外环高度大于等于环形连接部外侧面高度，环形连接部内侧面高度小于等于环形连接部外侧面高度，环形连接部内侧面高度大于中心置物盘高度。将置有待测COW片的载盘置于AOI检测机台上进行检测，有利于避免人工检测漏检和误判的情况，也有利于提高COW片的检测效率。

基本信息

专利标题：

COW片载盘

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921802906.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-10-24

授权号：

CN211602874U

授权日：

2020-09-29

发明人：

郭祖福

申请人：

湘能华磊光电股份有限公司

申请人地址：

湖南省郴州市苏仙区白露塘镇有色金属产业园区

代理机构：

北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)

代理人：

于淼

优先权：

CN201921802906.X

主分类号：

G01N21/01

IPC分类号：

G01N21/01 G01N21/95