载盘（碳化硅）
授权
摘要
1.本外观设计产品的名称：载盘（碳化硅）。2.本外观设计产品的用途：刻蚀，蒸镀，气体沉淀。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：主视图。
基本信息
专利标题 ：
载盘（碳化硅）
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202130182939.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-04-01
授权号 ：
CN307327579S
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
朱孟奎
申请人 ：
上海百兰朵电子科技有限公司
申请人地址 ：
上海市杨浦区国通路127号16层(集中登记地)
代理机构 ：
上海尚象专利代理有限公司
代理人 ：
徐炫
优先权 ：
CN202130182939.5
主分类号 ：
15-09
IPC分类号 ：
15-09
法律状态
2022-05-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
