芯片恒温载盘机构
实质审查的生效
摘要

本发明公开了芯片恒温载盘机构,包括:料盘接收座、定位侧板、加热板底板和伺服电机,所述料盘接收座顶部两侧设有支撑座,所述支撑座中央之间设有传动轴,所述传动轴两端位于支撑座外侧设有凸轮,所述支撑座顶部设有顶部支撑板,所述支撑座外部设有定位侧板,所述定位侧板之间位于顶部支撑板上方设有加热底板,所述加热底板内部两侧设有加热棒,所述加热底板内部中央设有感温棒,本发明通过伺服电机带动传动轴转动,从而带动凸轮转动,通过复位弹簧与复位螺钉的配合,对定位侧板产生拉力,使得定位侧板下降,带动料盘下降,使得料盘底部与导热片接触,通过加热棒对导热片加热,配合感温棒的温度控制,使得料盘处于恒温状态。

基本信息
专利标题 :
芯片恒温载盘机构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114496866A
申请号 :
CN202210068038.7
公开(公告)日 :
2022-05-13
申请日 :
2022-01-20
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
陈能强
申请人 :
无锡昌鼎电子有限公司
申请人地址 :
江苏省无锡市梁溪区会西路30-28号
代理机构 :
连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
张传宏
优先权 :
CN202210068038.7
主分类号 :
H01L21/673
IPC分类号 :
H01L21/673  H01L21/67  B07C5/02  B07C5/344  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2022-06-07 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/673
申请日 : 20220120
2022-05-13 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332