气体混合输出系统

授权

摘要

一种气体混合输出系统包括供应多种气体的多个气体供应单元、气体稳压装置及气体缓冲单元，其中气体供应单元用以供应多种气体，且混合成混合气体；气体稳压装置连通于该多个气体供应单元，且调控混合气体在预设压力范围；气体缓冲单元连通于气体稳压装置，且回授混合气体的输出流量值及输出压力值至气体供应单元，使气体供应单元调节来自气体供应单元的混合气体的流量；气体稳压装置监测混合气体的压力值；当混合气体的压力值超出预设压力范围时，气体稳压装置开始动作，使混合气体的压力值回归预设压力范围。

基本信息

专利标题：

气体混合输出系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201921900011.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-06

授权号：

CN211260360U

授权日：

2020-08-14

发明人：

简士堡李仁捷陈煖妮

申请人：

信纮科技股份有限公司

申请人地址：

中国台湾苗栗县竹南镇公义里友义路66号

代理机构：

北京伟思知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

聂宁乐

优先权：

CN201921900011.X

主分类号：

F17D1/02

IPC分类号：

F17D1/02 F17D3/01 F17D5/00