本发明公开了混合气体的处理方法。所述混合气体具有至少两种金属氯化物气体，所述至少两种金属氯化物气体相变为固体的温度不相同，处理方法包括以下步骤：S1、一级分离：将混合气体的温度冷却至第一温度，使混合气体中的第一金属氯化物气体在第一温度下冷凝为第一固体，然后收集第一固体；S2、二级分离：将混合气体的温度冷却至第二温度，使混合气体中的第二金属氯化物气体在第二温度下冷凝为第二固体，然后收集第二固体；其中，第一温度大于第二温度，第二金属氯化物气体在第一温度下呈气态。可见，本发明的混合气体的处理方法利用混合气体中金属氯化物气体相变温度的不同进行逐级地分离，既保证了较高的纯度，又充分地利用了温度的梯度变化。