本实用新型公开了一种硅烷混合气体回收处理系统，包括回收罐、燃烧室、喷淋单元、粉尘收集器、尾气放空单元。其中回收罐设有内胆、压力表、温度计及换热盘管；燃烧室的底部设有水池和排污口，中部设有气体分布器和补水管；喷淋单元设有喷淋管和循环水泵，喷淋管安装在燃烧室顶部，循环水泵入口与燃烧室底部水池相连；粉尘收集器设有布袋和收集桶；用来收集尾气中的粉尘二氧化硅，并富积在底部收集桶内；尾气放空单元设有风机和15m高的放空烟囱，使尾气于15m高的区域进行放空。本实用新型可以使高价值的硅烷气体得以回收使用，很好的节约生产成本，提高企业的经济效益；同时，极大的减少了硅烷尾气燃烧所带来的环境问题。