一种硅烷气体分配供给系统

授权

摘要

本实用新型公开了一种硅烷气体分配供给系统，包括供气柜，所述供气柜内设有至少2个气瓶，所述供气柜上设有PLC控制柜，供气柜内设有气体泄漏探测器、火焰探测器和消防喷淋接头，所述气瓶分别各连接一路由风阀、气体差压表、调压阀和其他管阀件组成的气路系统，每路气路系统可通过PLC控制柜进行切换；能够实现全自动化切换供气，配合气体泄漏探测器，火焰探测器，消防喷淋接头，气体管阀件，仪表等组成一套完整的系统。操作方便，结构简单，安全性高，且便于更换钢瓶，所以具有广泛的应用前景。

基本信息

专利标题：

一种硅烷气体分配供给系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020956998.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-31

授权号：

CN212510488U

授权日：

2021-02-09

发明人：

张华芹宋子明丁宇旺赵昀

申请人：

上海韵申新能源科技有限公司

申请人地址：

上海市浦东新区漕河泾开发区松江高科技园莘砖公路258号39幢402室-1

代理机构：

上海愉腾专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

谢小军

优先权：

CN202020956998.3

主分类号：

F17C7/00

IPC分类号：

F17C7/00 F17C13/00 F17C13/02 F17C13/08 F17C13/04 F17D1/04 F17D1/065 F17D3/01 F17D5/00 F17D5/02