气体供给装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种气体供给装置，用于为一封闭对象内部提供保护气体，包括气体存储单元、压力供给单元及气体传输单元，气体传输单元连通气体存储单元及封闭对象内部，压力供给单元设置于气体存储单元上以向气体存储单元提供恒定压力，并使气体存储单元通过气体传输单元为封闭对象内部提供恒定的保护气体。本实用新型能够持续高效、稳定可靠的维持封闭对象内部气体过压、防止被污染。进一步，通过设置检测单元，能够实时监控封闭对象内部气体的压力，在气体压力不足时及时发出报警。
基本信息
专利标题 ：
气体供给装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920618846.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-30
授权号 ：
CN209834509U
授权日 ：
2019-12-24
发明人 ：
王新杨志斌
申请人 ：
上海微电子装备（集团）股份有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区张东路1525号
代理机构 ：
上海思捷知识产权代理有限公司
代理人 ：
王宏婧
优先权 ：
CN201920618846.X
主分类号 ：
B65D81/20
IPC分类号 ：
B65D81/20 F17B1/02 F17B1/12 F17B1/26
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65D
用于物件或物料贮存或运输的容器，如袋、桶、瓶子、箱盒、罐头、纸板箱、板条箱、圆桶、罐、槽、料仓、运输容器；所用的附件、封口或配件；包装元件；包装件
B65D81/00
用于存在特殊运输或贮存问题的装入物，或适合于在装入物取出后用于非包装目的的容器、包装元件或包装件
B65D81/18
为装入物提供特殊环境，如高于或低于室温
B65D81/20
在真空或超大气压下，或在特殊气氛中，如惰性气体的
法律状态
2019-12-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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