气体溶解液供给装置及由气体溶解液供给装置执行的方法
公开
摘要
本发明提供一种能够实现气体溶解液的高浓度化，能够抑制气体溶解液的送出压力的变动的气体溶解液供给装置及由气体溶解液供给装置执行的方法。气体溶解液供给装置(1)具备：积存气体溶解液的第一气液分离器(8)、设置于第一气液分离器的后段并积存向使用点供给的气体溶解液的第二气液分离器(16)、设置于第一气液分离器和第二气液分离器之间的中间线路(17)、设置于中间线路并使从第一气液分离器向第二气液分离器供给的气体溶解液的压力上升的升压泵(18)、供给成为气体溶解液的原料的气体的气体供给线路(2)、设置于中间线路并使从气体供给线路供给的气体溶解于从第一气液分离器供给的气体溶解液的气体溶解部(20)。
基本信息
专利标题 ：
气体溶解液供给装置及由气体溶解液供给装置执行的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114272776A
申请号 ：
CN202111158227.5
公开（公告）日 ：
2022-04-05
申请日 ：
2021-09-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
小泽卓荒木裕二渡边敏史中川洋一木村梨沙徐涛
申请人 ：
株式会社荏原制作所
申请人地址 ：
日本国东京都大田区羽田旭町11番1号
代理机构 ：
上海华诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
张丽颖
优先权 ：
CN202111158227.5
主分类号 ：
B01F23/20
IPC分类号 ：
B01F23/20 B01F25/30
法律状态
2022-04-05 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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