描述一种用于等离子沉积或等离子清洁设备中的细长的气体分配系统。该系统以堆叠细长板条的形式设备。所述板条中铣有凹槽，这些凹槽在板条彼此上下堆叠后便形成通道。这种设置是特别灵活的设计，可供精细分叉的气体分配树状结构之用。还可以在气体分配系统内部或其上装有气流控制装置，比如阀或叶片。通过根据等离子体、沉积层或清洁的基片反馈参数的输入对气流控制装置的驱动，实现气体分配系统的快速反应。此外，某些板条可用于结合冷却回路，以便冷却细长的气体分配系统。