一种用于晶圆平面度测量的气动量仪
授权
摘要
本实用新型提供了一种用于晶圆平面度测量的气动量仪，包括气源输出装置、气电测微仪和测量装置，所述气源输出装置包括机械稳压器、水柱式稳压器以及测量气室，所述水柱式稳压器包括稳压水箱以及竖直设置在稳压水箱内的第一储气管、第二储气管，所述第一储气管底部开口的水平高度小于第二储气管底部开口的水平高度，本实用新型利用第一储气管与第二储气管的高度差使得输出的测量气压稳定在一个合适的低压状态，保证待测晶圆在测量时不被吹起，保证测量的顺利进行，而且所述测量装置采用微分头与斜楔块配合来调整喷嘴的上下位置，不但提高调整精度，在调整完毕后有效保证喷嘴停留在要求的位置，进一步保证测量结果的准确性。
基本信息
专利标题 ：
一种用于晶圆平面度测量的气动量仪
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921908857.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-07
授权号 ：
CN210513051U
授权日 ：
2020-05-12
发明人 ：
张远
申请人 ：
三门峡中原量仪股份有限公司
申请人地址 ：
河南省三门峡市和平路9号
代理机构 ：
郑州联科专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
常娟
优先权 ：
CN201921908857.8
主分类号 ：
G01B13/22
IPC分类号 ：
G01B13/22
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B13/195
••用于检测轮子的准直度
G01B13/22
用于计量表面的粗糙度或不规则性
法律状态
2020-05-12 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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