一种硅片研磨机
授权
摘要

本实用新型公开了一种硅片研磨机,包括底座,底座上设置有至少两根液压杆和至少两根支撑柱,支撑柱上端固定连接固定座,固定座中部设有移动槽,移动槽内部安装有导向块,同一直线上的导向块内部连接第一螺杆,第一螺杆一端与第一旋转板固定连接,导向块上端与移动柱相连,移动柱上端与安装板相连,安装板中部安装有第二螺杆,第二螺杆下端安装有固定板,第二螺杆上端与第二旋转板相连,液压杆上端固定连接安装横梁,安装横梁中部安装电机,电机输出端与转轴相连,转轴下方设置有研磨压头,研磨压头下方设置有水冷盘,水冷盘下方设置有研磨片,研磨片位于固定座中部上方。本实用新型具有能保证研磨精度和适应各种规格的硅片研磨等优点。

基本信息
专利标题 :
一种硅片研磨机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921911024.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-07
授权号 :
CN211073139U
授权日 :
2020-07-24
发明人 :
陆敏
申请人 :
四川晶美硅业科技有限公司
申请人地址 :
四川省遂宁市船山区创新工业园区明星大道机场东路口
代理机构 :
成都天嘉专利事务所(普通合伙)
代理人 :
方强
优先权 :
CN201921911024.7
主分类号 :
B24B37/10
IPC分类号 :
B24B37/10  B24B37/30  B24B37/34  B24B55/03  
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B24
磨削;抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺(用电蚀入B23H;磨料或有关喷射入B24C;电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00;磨具磨损表面的修理或调节;磨削,抛光剂或研磨剂的进给
B24B37/00
研磨机床或装置;附件
B24B37/04
适用于加工平面的
B24B37/07
以工件或研具的运动为特征
B24B37/10
用于单侧研磨
法律状态
2020-07-24 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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