一种F40大数值孔径高功率激光衍射极限准直物镜
授权
摘要
本实用新型涉及一种F40大数值孔径高功率激光衍射极限准直物镜,沿着915nm激光入射方向依次设置第一透镜、第二透镜、第三透镜,第一透镜为双凸透镜,第二透镜为平凸透镜,第三透镜为双凸透镜,第一透镜与第二透镜的中心间隔d2=12.7mm,第二透镜与第三透镜的中心间隔d4=4.1mm,本实用新型达到的性能参数是:焦距为40mm,数值孔径为0.5,入瞳直径为20mm,非球面准直镜几乎接近衍射极限,波像差小于0.22λ。本实用新型应用于激光微加工系统,可以解决同轴高度跟踪,加工后深度等尺寸的测量问题,从而提高设备仪器的智能化与精密化水平。
基本信息
专利标题 :
一种F40大数值孔径高功率激光衍射极限准直物镜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921930005.9
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-08
授权号 :
CN210776002U
授权日 :
2020-06-16
发明人 :
肖向荣
申请人 :
武汉奥莱光电科技有限公司
申请人地址 :
湖北省武汉市东湖新技术开发区武大科技园四路研发楼一层117号
代理机构 :
武汉知产时代知识产权代理有限公司
代理人 :
郝明琴
优先权 :
CN201921930005.9
主分类号 :
G02B13/00
IPC分类号 :
G02B13/00 G02B27/30 B23K26/04
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B13/00
为下述用途专门设计的光学物镜
法律状态
2020-06-16 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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