本实用新型提供一种硅源气体的检测装置，硅源气体自供气装置经由输送管道输送至外延反应室，所述检测装置包括：收集单元，用于收集硅源气体，所述收集单元包括吸附管以及与所述吸附管一端可拆卸地连接的空气采样泵，所述吸附管还与所述输送管道连接。根据本实用新型实施例的硅源气体的检测装置，可以将收集单元放置与任意需要收集气体并进行检测的位置，通过将收集单元中的吸附管与硅源气体的输送管道连接，以收集其中的硅源气体，无需改变原始工艺条件，不会对正常的生产工艺造成任何影响，方便了后续的气体分析检测过程。