本实用新型提供一种可防止压缩机回流管路积水堵塞的工艺装置，涉及化工生产技术领域。该可防止压缩机回流管路积水堵塞的工艺装置，包括隔膜式压缩机本体，所述隔膜式压缩机本体包括一级排气管、二级排气管和三级排气管，一级排气管的输入端固定连通有进气管，进气管的内部设置有回流阀，回流阀的输入端设置有气压表。该可防止压缩机回流管路积水堵塞的工艺装置，通过设置脱水纯化模组、回流阀、气压表和控制器，避免了回流阀和进气管产生堵塞，同时避免了隔膜式压缩机本体频繁开机，节省了原料气，降低了生产成本，同时稳定了隔膜式压缩机本体进气压力，避免了空气抽入系统，造成产品质量事故及安全事故的情况。