一种激光入射窗口保护装置
授权
摘要
本实用新型适用于激光脉冲沉积技术领域，提供了一种激光入射窗口保护装置，用于保护激光入射窗口，包括：第一法兰、固定设置在所述第一法兰上的第二法兰、以及固定设置在所述第二法兰上的第三法兰；所述第二法兰中间位置上设有一旋转机构，所述旋转机构输出端连接一石英组件，所述旋转机构输出端与所述石英组件设置在所述第二法兰内部，所述第三法兰固定设置在所述腔体上；所述石英组件包括：与所述旋转机构传动连接的圆盘构件以及设置在所述圆盘构件上的多个石英玻璃片，所述圆盘构件中间位置与所述旋转机构输出端固定连接，圆盘构件上设有多个通孔，多个石英玻璃片设置在所述多个通孔内。本实用新型能提高激光透射效率和稳定性，减少污染。
基本信息
专利标题 ：
一种激光入射窗口保护装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921961180.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-14
授权号 ：
CN211142144U
授权日 ：
2020-07-31
发明人 ：
张晓军李炳坤胡凯代瑞娜
申请人 ：
深圳市矩阵多元科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区西丽街道朗山路28号通产新兴产业园3号厂房1楼北侧
代理机构 ：
深圳市华优知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
余薇
优先权 ：
CN201921961180.4
主分类号 ：
C23C14/28
IPC分类号 ：
C23C14/28 C23C14/56
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
法律状态
2020-07-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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