一种用于PVD设备的配管
授权
摘要

本实用新型提供一种用于PVD设备的配管,涉及PVD设备技术领域,包括第一法兰、第二法兰和连接第一法兰和第二法兰的管体,所述第一法兰与所述管体的一端密封连接,所述第二法兰与所述管体的另一端密封连接,所述管体设有45°折弯段。通过将真空环境供应设备的真空传输配管设置45°折弯段,替换原有的90°折弯段,大幅降低了真空传输管道的流体阻力,有效提升了真空环境供应设备的生产效率,降低了PVD设备整体的生产成本。

基本信息
专利标题 :
一种用于PVD设备的配管
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921973613.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-15
授权号 :
CN211715943U
授权日 :
2020-10-20
发明人 :
钱万勇
申请人 :
苏州三原流体科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市高新区浒青路156号
代理机构 :
北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
赵瑞鹏
优先权 :
CN201921973613.8
主分类号 :
F16L9/00
IPC分类号 :
F16L9/00  F16L23/032  
IPC结构图谱
F
F部——机械工程;照明;加热;武器;爆破
F16
工程元件或部件;为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施;一般绝热
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L
管子;管接头或管件;管子、电缆或护管的支撑;一般的绝热方法
F16L9/00
刚性管
法律状态
2020-10-20 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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