一种用于PVD设备的配管
授权
摘要
本实用新型提供一种用于PVD设备的配管，涉及PVD设备技术领域，包括第一法兰、第二法兰和连接第一法兰和第二法兰的管体，所述第一法兰与所述管体的一端密封连接，所述第二法兰与所述管体的另一端密封连接，所述管体设有45°折弯段。通过将真空环境供应设备的真空传输配管设置45°折弯段，替换原有的90°折弯段，大幅降低了真空传输管道的流体阻力，有效提升了真空环境供应设备的生产效率，降低了PVD设备整体的生产成本。
基本信息
专利标题 ：
一种用于PVD设备的配管
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921973613.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-15
授权号 ：
CN211715943U
授权日 ：
2020-10-20
发明人 ：
钱万勇
申请人 ：
苏州三原流体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区浒青路156号
代理机构 ：
北京联瑞联丰知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
赵瑞鹏
优先权 ：
CN201921973613.8
主分类号 ：
F16L9/00
IPC分类号 ：
F16L9/00 F16L23/032
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F16
工程元件或部件；为产生和保持机器或设备的有效运行的一般措施；一般绝热
F16L
管子；管接头或管件；管子、电缆或护管的支撑；一般的绝热方法
F16L
管子；管接头或管件；管子、电缆或护管的支撑；一般的绝热方法
F16L9/00
刚性管
法律状态
2020-10-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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