运动控制系统
授权
摘要

本实用新型公开了一种运动控制系统,包括工作台、运动控制器、电机和电机驱动装置,运动控制器包括聚焦平面运动控制单元和工作台运动控制单元,分别用于控制成像物镜组作竖直方向的上下移动、通过成像检测部件聚焦并将聚焦平面始终保持在光偏振敏感材料表面和用于控制载带有光偏振敏感材料的工作台在二维平面运动;电机驱动装置用于驱动电机带动所述聚焦平面和工作台运动。本实用新型采用高精度工作台精确控制样品做二维平面移动,对于实现大幅面书写具有重大意义。

基本信息
专利标题 :
运动控制系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921983169.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-15
授权号 :
CN211123568U
授权日 :
2020-07-28
发明人 :
黄文彬郑致刚张新君王骁乾
申请人 :
苏州大学;华东理工大学
申请人地址 :
江苏省苏州市十梓街1号
代理机构 :
苏州华博知识产权代理有限公司
代理人 :
黄丽莉
优先权 :
CN201921983169.8
主分类号 :
G02F1/1337
IPC分类号 :
G02F1/1337  G03F7/20  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02F
用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置,例如转换、选通、调制或解调,上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的;用于上述操作的技术或工艺;变频;非线性光学;光学逻辑元件;光学模拟/数字转换器
G02F1/00
控制来自独立光源的光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置,例如,转换、选通或调制;非线性光学
G02F1/01
对强度、相位、偏振或颜色的控制
G02F1/13
基于液晶的,例如单位液晶显示单元
G02F1/133
构造上的设备;液晶单元的工作;电路装置
G02F1/1333
构造上的设备
G02F1/1337
液晶分子的表面诱导取向,例如借助列向层
法律状态
2020-07-28 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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