一种可循环的高频振动清洗机
授权
摘要
本实用新型公开了一种可循环的高频振动清洗机，涉及硅片清洗技术领域，其技术方案要点是包括机体，机体内设有超声槽，机体的一侧设有与超声槽连通的排水口，排水口连接有循环装置，还包括过滤桶，所述过滤桶内可拆卸设有用于装载硅片的装载桶，所述装载桶的深度小于过滤桶的深度。过滤桶位于超声槽内，过滤桶和装载桶的开口均朝向超声槽的槽口。本实用新型通过过滤桶过滤粉尘等杂质，使得粉尘等杂质集中在过滤桶内，从而降低粉尘等杂质沉积在超声槽底部的可能性。
基本信息
专利标题 ：
一种可循环的高频振动清洗机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921993513.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-18
授权号 ：
CN211386091U
授权日 ：
2020-09-01
发明人 ：
李志卫张仕俊石正娟
申请人 ：
苏州新米特电子科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区胜浦九江路2号1号厂房二楼
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921993513.1
主分类号 ：
B08B3/12
IPC分类号 ：
B08B3/12 B08B11/02 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的，如用加热，电力，振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的（声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13；使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20；超声波振动用于一般化学、物理，或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-09-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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