一种可循环的高频振动清洗机
授权
摘要
本实用新型公开了一种可循环的高频振动清洗机,涉及硅片清洗技术领域,其技术方案要点是包括机体,机体内设有超声槽,机体的一侧设有与超声槽连通的排水口,排水口连接有循环装置,还包括过滤桶,所述过滤桶内可拆卸设有用于装载硅片的装载桶,所述装载桶的深度小于过滤桶的深度。过滤桶位于超声槽内,过滤桶和装载桶的开口均朝向超声槽的槽口。本实用新型通过过滤桶过滤粉尘等杂质,使得粉尘等杂质集中在过滤桶内,从而降低粉尘等杂质沉积在超声槽底部的可能性。
基本信息
专利标题 :
一种可循环的高频振动清洗机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921993513.1
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-18
授权号 :
CN211386091U
授权日 :
2020-09-01
发明人 :
李志卫张仕俊石正娟
申请人 :
苏州新米特电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区胜浦九江路2号1号厂房二楼
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921993513.1
主分类号 :
B08B3/12
IPC分类号 :
B08B3/12 B08B11/02 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的,如用加热,电力,振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的(声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13;使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20;超声波振动用于一般化学、物理,或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-09-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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