一种高频振动清洗机
授权
摘要

本实用新型公开了一种高频振动清洗机,涉及硅片清洗技术领域,其技术方案要点是包括机体,机体内设有超声槽,超声槽的开口处搭接有用于放置硅片的支架,机体的一侧设有与超声槽连通的排水口,超声槽内可拆卸设有过滤板,过滤板位于支架与超声槽底部之间,过滤板四周的周缘全部抵接于超声槽的内周侧壁使超声槽被分为上下两个腔室。过滤板上设有用于取放过滤板的手握结构;超声槽相对的两内侧壁均设有用于支撑过滤板的支撑杆。还包括用于固定过滤板的锁定结构。本实用新型通过过滤板过滤水中的粉尘等杂质,降低了工作人员清理超声槽的次数,只需要更换过滤板即可,操作简单快捷。

基本信息
专利标题 :
一种高频振动清洗机
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921993689.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-18
授权号 :
CN211386092U
授权日 :
2020-09-01
发明人 :
李志卫张仕俊石正娟
申请人 :
苏州新米特电子科技有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市工业园区胜浦九江路2号1号厂房二楼
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN201921993689.7
主分类号 :
B08B3/12
IPC分类号 :
B08B3/12  B08B3/14  B08B13/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B08
清洁
B08B
一般清洁;一般污垢的防除
B08B3/00
使用液体或蒸气的清洁方法
B08B3/04
与液体接触的清洁
B08B3/10
对液体或被净化物体进行附加处理的,如用加热,电力,振动
B08B3/12
用声波或超声波振动的(声波或超声波陶器或餐具清洗或冲洗机入A47L15/13;使用超声波技术清洗或冲洗天然牙、假牙或类似于天然牙的入A61C17/20;超声波振动用于一般化学、物理,或物理化学过程中的入B01J19/10
法律状态
2020-09-01 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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