一种单晶硅片抛光机用清洗刷子
授权
摘要
本实用新型提供一种单晶硅片抛光机用清洗刷子，包括刷体，在所述刷体端部至少设有一组毛刷组件和喷头组件，所述毛刷组件与所述喷头组件同侧设置，所述喷头组件被设置在所述毛刷组件内侧；在所述刷体侧部设有连接组件，所述刷体内部设有通道，所述通道一端与所述喷头组件连通，另一端与所述连接组件连通。本实用新型设计的刷子，结构配合简单，可在刷体单侧设置刷头，也可在刷体双侧设置刷头，适普性强，应用广且清洗效果好，清洗效率高。
基本信息
专利标题 ：
一种单晶硅片抛光机用清洗刷子
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922001707.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-19
授权号 ：
CN211249647U
授权日 ：
2020-08-14
发明人 ：
祝斌刘姣龙武卫刘建伟刘园孙晨光由佰玲谢艳杨春雪刘秒常雪岩裴坤羽王彦君吕莹徐荣清
申请人 ：
天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号
代理机构 ：
天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
栾志超
优先权 ：
CN201922001707.5
主分类号 ：
B24B53/017
IPC分类号 ：
B24B53/017 A46B11/06 A46B5/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B53/00
用于修整或调节研磨表面的装置或工具、
B24B53/017
用于修整、清洁或者调节研具的设备或装置
法律状态
2020-08-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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