真空过滤装置及系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种真空过滤装置及系统。真空过滤装置包括：一箱体；分别位于所述箱体两端的进气口和排气口；位于所述进气口和所述排气口之间的过滤器，所述过滤器连接于所述箱体的顶板和底板之间；以及，设置于所述顶板和所述底板中的介质通路，其中，所述过滤器包括：相互交错间隔排列的梳状板，所述梳状板用于提供之字形的气体通路。通过梳状板所提供的之字形气体通路和冷却介质的作用，使得自真空腔排出的含有掺杂剂的气体能冷凝于梳状板上，保护下游的真空泵组件，延长真空泵的保养周期。
基本信息
专利标题 ：
真空过滤装置及系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922002042.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-19
授权号 ：
CN211513831U
授权日 ：
2020-09-18
发明人 ：
洪俊华
申请人 ：
上海临港凯世通半导体有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区南汇新城镇竹柏路750号207室
代理机构 ：
上海弼兴律师事务所
代理人 ：
薛琦
优先权 ：
CN201922002042.X
主分类号 ：
B01D46/12
IPC分类号 ：
B01D46/12 B01D53/04
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/10
采用具有平表面的滤板、滤片或滤垫的粒子分离器，如聚尘器
B01D46/12
多排的
法律状态
2020-09-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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