一种托盘传送机构

授权

摘要

本实用新型公开了一种托盘传送机构，它安装在真空腔体内，它包括：两组支撑底座，两组所述支撑底座间隔设置在所述真空腔体内；加热/冷却结构，所述加热/冷却结构设置于所述真空腔体内且支撑在所述支撑底座上；两排支撑单元，每排支撑单元包括间隔且对齐设置的多根支撑杆，所述支撑杆可升降地贯穿所述支撑底座并延伸至所述真空腔体外；两排密封单元，每排密封单元包括与所述支撑杆一一对应的多个密封结构；两组传送结构，两组所述传送结构对应安装在所述密封基板上，用于支撑和输送托盘。这样能够使得托盘支撑在加热/冷却结构上或者离开加热/冷却结构，实现接触式加热或者冷却并能够保证真空腔体的真空度。

基本信息

专利标题：

一种托盘传送机构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922028041.2

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-11-22

授权号：

CN210943797U

授权日：

2020-07-07

发明人：

宋银海姚飞贾银海钱锋埃尔詹·英马兹

申请人：

苏州帕萨电子装备有限公司

申请人地址：

江苏省苏州市太仓市城厢镇锦州路18号2幢

代理机构：

苏州根号专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

仇波

优先权：

CN201922028041.2

主分类号：

B65G47/74

IPC分类号：

B65G47/74