卷绕纠偏机构及具有其的卷对卷CVD设备
授权
摘要
本公开涉及卷绕装置技术领域，提出了一种卷绕纠偏机构及具有其的卷对卷CVD设备，卷绕纠偏机构位于卷对卷CVD设备的加热区之后，用于将位置发生偏移的金属箔材调整至原始位置，卷绕纠偏机构包括纠偏轴和固定轴，纠偏轴用于设置在卷对卷CVD设备的真空腔内；固定轴用于设置在真空腔内，金属箔材经过加热区之后依次绕过纠偏轴、固定轴以及卷对卷CVD设备的收料轴；其中，金属箔材搭设在纠偏轴上，纠偏轴可摆动地设置，以驱动金属箔材移动。通过纠偏轴带动位置发生偏移的金属箔材移动，即金属箔材受到的作用力方向会发生变化，在收料轴的拉动作用下，位置发生偏移的金属箔材会逐渐恢复到原始位置。
基本信息
专利标题 ：
卷绕纠偏机构及具有其的卷对卷CVD设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922030564.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-22
授权号 ：
CN210973246U
授权日 ：
2020-07-10
发明人 ：
彭海琳王可心杨皓曹风王雄彪武钦慈刘忠范
申请人 ：
北京石墨烯研究院;北京大学
申请人地址 ：
北京市海淀区苏家坨镇翠湖南路13号院中关村翠湖科技园2号楼
代理机构 ：
北京律智知识产权代理有限公司
代理人 ：
李建忠
优先权 ：
CN201922030564.0
主分类号 ：
B65H23/038
IPC分类号 ：
B65H23/038 B65H23/02
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B65
输送；包装；贮存；搬运薄的或细丝状材料
B65H
搬运薄的或细丝状材料，如薄板、条材、缆索
B65H23/00
定位、张紧、平整或引导条材
B65H23/02
横向地
B65H23/032
控制条材的横向定位
B65H23/038
用辊柱
法律状态
2020-07-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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