一种基于光电反馈的MEMS振镜模组
授权
摘要
本实用新型属于光电检测和微光机电系统领域，具体涉及一种基于光电反馈的MEMS振镜模组。解决振镜研发耗费时间长成本高的问题。包括密封壳体及位于密封壳体内部的振镜驱动组件与振镜反馈组件；振镜反馈组件包括激光器及光电检测电路板；激光器与光电检测电路板均与主控板电连接；激光器出射的光束入射至振镜反面反射面；振镜反面反射面将光束反射后入射至光电检测电路板；光电检测电路板用于检测振镜的振动参数，并将振动参数反馈至主控板；主控板的输出端通过连接线引出密封壳体。通过振镜光电检测反馈组件，直接探测振镜振动位置，得到振镜的幅值和相位信息，可根据振镜振动的实际幅值和相位调节驱动信号，使振镜工作状态稳定在目标角度。
基本信息
专利标题 ：
一种基于光电反馈的MEMS振镜模组
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922064353.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-26
授权号 ：
CN210776029U
授权日 ：
2020-06-16
发明人 ：
夏长锋宋秀敏何耀军郑文会乔大勇
申请人 ：
西安知微传感技术有限公司
申请人地址 ：
陕西省西安市高新区丈八五路10号陕西省科技资源统筹中心B503室
代理机构 ：
西安智邦专利商标代理有限公司
代理人 ：
汪海艳
优先权 ：
CN201922064353.9
主分类号 ：
G02B26/08
IPC分类号 ：
G02B26/08 G01H9/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B26/00
利用可移动的或可变形的光学元件控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的光学器件或装置，例如，开关、选通或调制
G02B26/08
控制光的方向
法律状态
2020-06-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
