一种基板锁扣载具和离子注入设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种基板锁扣载具，包括：载具机构用于承载待掺杂基板以及支撑掩膜板；锁定机构用于将所述掩膜板锁定在所述载具机构上，以固定所述掩膜板与所述待掺杂基板之间的相对位置。该基板锁扣载具可在掩膜板和待掺杂基板进行对位后固定两者之间的相对位置，防止两者之间的相对位置出现偏移而影响到离子注入的精准度。本实用新型还提供一种离子注入设备。
基本信息
专利标题 ：
一种基板锁扣载具和离子注入设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922091673.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-28
授权号 ：
CN210607178U
授权日 ：
2020-05-22
发明人 ：
周波林锦辉陈飞郑志雄吴虎
申请人 ：
信利（仁寿）高端显示科技有限公司
申请人地址 ：
四川省眉山市仁寿县文林工业园区管委会办公楼一楼
代理机构 ：
广州粤高专利商标代理有限公司
代理人 ：
李健威
优先权 ：
CN201922091673.3
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 H01J37/317
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-05-22 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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