一种砧座曝光的夹持机构及曝光一体机
授权
摘要
本实用新型公开了一种砧座曝光的夹持机构及曝光一体机，涉及曝光机技术领域。该砧座曝光的夹持机构包括套筒和V型块。套筒包括第一套筒和第二套筒，第一套筒和第二套筒分别用于容纳砧座的安装轴的两端；V型块包括第一V型块和第二V型块，第一V型块和第二V型块上分别设有两个轴承，第一套筒和第二套筒分别设置于第一V型块和第二V型块上，轴承的外圈能够支撑第一套筒和第二套筒，保证了砧座在曝光过程中良好的旋转。该砧座曝光的夹持机构无需固定卡死，拆装简易快速，制作工艺简单且成本低，可重复利用，且曝光效率高。
基本信息
专利标题 ：
一种砧座曝光的夹持机构及曝光一体机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922092885.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-28
授权号 ：
CN212181246U
授权日 ：
2020-12-18
发明人 ：
周宏建李耀东
申请人 ：
无锡骄成智能科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区硕放南开路88号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
胡彬
优先权 ：
CN201922092885.3
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2020-12-18 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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