本实用新型涉及一种提纯三氟甲磺酸三甲基硅酯的装置，属于精细化工技术领域。所述装置包括输送泵、吸附塔、过滤器、精馏塔A、精馏塔B、热交换器和储罐；输送泵与吸附塔的下部进口相连，吸附塔的上部出口与过滤器的上部进口相连，过滤器的下部出口与热交换器的下部进口a相连，之后通过热交换器的上部出口b与精馏塔A的中部进口相连，精馏塔A的下部出口与精馏塔B的中部进口相连，精馏塔B的上部出口与热交换器的上部进口c相连，之后通过热交换器的下部出口d与储罐相连。本实用新型所述装置提纯三氟甲磺酸三甲基硅酯的工艺简单、能耗低、成本低、而且产品纯度能达到99.7％以上，适合工业化生产，具有良好的工业应用价值。