提纯三氯氢硅的系统

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摘要

本实用新型公开了提纯三氯氢硅的系统，该系统包括反应精馏塔和复合精馏塔。其中，反应精馏塔内设有规整填料和位于反应精馏塔中部和/或下部且表面富含羟基的金属氧化物微球层，反应精馏塔具有三氯氢硅粗品入口、第一重组分杂质出口和初级纯化产品出口；复合精馏塔包括脱轻塔和脱重塔，脱轻塔具有脱轻原料入口、轻组分杂质出口和脱轻纯化产品出口，脱重塔具有脱重原料入口、第二重组分杂质出口和脱重纯化产品出口：脱轻原料入口与初级纯化产品出口相连且脱轻纯化产品出口与脱重原料入口相连；或脱重原料入口与初级纯化产品出口相连且脱重纯化产品出口与脱轻原料入口相连。采用该系统可以得到有机物杂质质量浓度不高于20ppbw的高纯三氯氢硅产品。

基本信息

专利标题：

提纯三氯氢硅的系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020217179.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-02-26

授权号：

CN212740754U

授权日：

2021-03-19

发明人：

吴锋李明峰李福中韩秀娟王海豹

申请人：

江苏鑫华半导体材料科技有限公司

申请人地址：

江苏省徐州市经济技术开发区杨山路66号

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

肖阳

优先权：

CN202020217179.7

主分类号：

C01B33/107

IPC分类号：

C01B33/107