一种新型三氯氢硅低温汽化系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种新型三氯氢硅低温汽化系统，属于多晶硅生产技术领域，包括汽化器和设在汽化器上方的洗涤塔，汽化器内设有加热装置，加热装置下端设有氢气分配盘，氢气分配盘上端设有多个氢气喷嘴，氢气分配盘上还连接有氢气进管，洗涤塔内设有多个筛板，洗涤塔上端侧壁设有三氯氢硅进管，洗涤塔上端设有汽化出管。本实用新型具有能耗低、杂质少和汽化效果好等优点。
基本信息
专利标题 ：
一种新型三氯氢硅低温汽化系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122128869.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-06
授权号 ：
CN216155492U
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
陈绍林
申请人 ：
云南通威高纯晶硅有限公司
申请人地址 ：
云南省保山市昌宁园中园
代理机构 ：
成都天嘉专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
潘涛
优先权 ：
CN202122128869.2
主分类号 ：
C01B33/107
IPC分类号 ：
C01B33/107
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C01
无机化学
C01B
非金属元素；其化合物
C01B33/00
硅; 其化合物
C01B33/08
含卤素的化合物
C01B33/107
卤化硅烷
法律状态
2022-04-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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