本实用新型公开一种三氯氢硅的制备系统，包括炉体，所述炉体包括反应段，所述反应段从下到上包括依次连通的三段，分别为主反应段(1)、副反应段(2)和缓冲段(3)，其中，所述主反应段用于进行生成三氯氢硅的主反应，所述副反应段用于进行三氯氢硅的副反应，所述缓冲段用于发生三氯氢硅与氯化氢气体生成四氯化硅的反应，所述制备系统还包括降温机构，所述降温机构包括第一夹套(4)，所述第一夹套包覆在所述主反应段之外，所述第一夹套内部流通有冷却液。所述制备系统能够减少四氯化硅的生成量，并提高三氯氢硅的收率。