三氯氢硅合成炉的冷束管组件

授权

摘要

本实用新型公开了一种三氯氢硅合成炉的冷束管组件，它包括设置在三氯氢硅合成炉炉体内的数根冷束管，冷束管在炉体内呈圆环形布置，所述冷束管外套设有支撑圈，位于同一水平面上相邻冷束管外套设的支撑圈连接在一起形成外层支撑圆环和内层支撑圆环，位于同一水平面上的内层支撑圆环与外层支撑圆环连接在一起，外层冷束管的支撑圈上设置有活动支撑件。本实用新型延长了三氯氢硅合成炉内冷束管的使用寿命，提高了三氯氢硅合成炉设备的安全性能。

基本信息

专利标题：

三氯氢硅合成炉的冷束管组件

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920495627.7

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-04-12

授权号：

CN209802174U

授权日：

2019-12-17

发明人：

何鹏袁中华周昶利

申请人：

四川永祥多晶硅有限公司

申请人地址：

四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

王学强

优先权：

CN201920495627.7

主分类号：

F28F9/013

IPC分类号：

F28F9/013