一种用于三氯氢硅精馏提纯的装置

授权

摘要

本实用新型公开了一种用于三氯氢硅精馏提纯的装置，包括依次串联的除硼吸附器、一级精馏塔、二级精馏塔、除磷吸附器和三级精馏塔；除硼吸附器主要用于去除原料氯硅烷中的硼杂质，同时去除部分磷杂质和金属杂质；一级精馏塔为隔壁塔，可以同时从塔顶切除二氯二氢硅，从塔釜切除四氯化硅，从塔中侧线采出已脱去低沸物和高沸物的、纯度达99％～99.99％的三氯氢硅；二级精馏塔为隔壁塔，可以分别从塔顶和塔釜同时去除三氯氢硅中的轻组分杂质和重组分杂质；除磷吸附器主要用于去除三氯氢硅中的磷杂质，同时去除部分硼杂质和金属杂质；三级精馏塔再次脱除三氯氢硅中的重组分杂质，得到合格的三氯氢硅。

基本信息

专利标题：

一种用于三氯氢硅精馏提纯的装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201920822681.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-06-03

授权号：

CN210084964U

授权日：

2020-02-18

发明人：

何瑞李力葛冬松谢岩童贵王苏俊

申请人：

新疆协鑫新能源材料科技有限公司

申请人地址：

新疆维吾尔自治区昌吉回族自治州准东经济技术开发区红沙泉北工业区横四路东段

代理机构：

南京苏高专利商标事务所(普通合伙)

代理人：

肖明芳

优先权：

CN201920822681.8

主分类号：

C01B33/107

IPC分类号：

C01B33/107