一种用于三氯氢硅合成炉的温度计套管结构

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摘要

本实用新型公开了一种用于三氯氢硅合成炉的温度计套管结构，其包括管体，管体的前端伸入至合成炉内，管体的前端封焊有一堵头，堵头的前端部外露于管体，并将堵头的前端部设计为圆弧面，圆弧面的前端夹角为110～130度，在圆弧面上喷涂有一耐磨蚀涂层。该用于三氯氢硅合成炉的温度计套管结构通过对其结构的有效设计，消除影响耐磨蚀层崩裂脱落的应力，延长了使用寿命，降低了生产成本。

基本信息

专利标题：

一种用于三氯氢硅合成炉的温度计套管结构

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202020940672.1

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-05-29

授权号：

CN212158846U

授权日：

2020-12-15

发明人：

何晓青

申请人：

四川旗丰新材料产业发展有限公司

申请人地址：

四川省成都市简阳市养马镇石养路2号附13号

代理机构：

成都正华专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

李蕊

优先权：

CN202020940672.1

主分类号：

G01K1/08

IPC分类号：

G01K1/08 C01B33/107