本实用新型公开了一种内加热法的快速升温炉，包括电极、进气口、法兰、压力表、管堵、保温腔、基材、石英盘，所述设备框架的内部设置有保温腔，所述保温腔的内部设置有试管，所述试管的内部底端固定安装有加热元件，所述加热元件与电极连接，所述加热元件的上方固定安装有石英盘；所述石英盘上放置有基材，所述试管的内部还对称安装有两个管堵，本实用新型通过电极连接加热元件，实现内部加热方式，将原始的管式炉的通管改为单端试管，使用单端试管置于保温腔内，能够在快速升温的同时，保护温场的热量不流失，从而实现停止升温后持续保持腔内高温效果。