一种用于方棒中转的机械手装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于方棒中转的机械手装置，属于半导体晶硅加工设备领域，包括中转框架，所述中转框架上滑动连接有抓手支架组件，所述抓手支架组件的下方滑动连接有抓手基板组件，所述抓手基板组件的下部设有至少一组方棒夹持单元，所述方棒夹持单元与所述抓手基板组件滑动连接，在夹持方棒的同时实现在X轴、Y轴和Z轴三个垂直正交方向上的位置调节，能够抓取不同长度和宽度的方棒，具有重复定位精度高、适用范围广泛的特点。
基本信息
专利标题 ：
一种用于方棒中转的机械手装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922146712.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-04
授权号 ：
CN210968865U
授权日 ：
2020-07-10
发明人 ：
吴广忠张笑笑赵晓东野广俊王勇宋培林解培玉
申请人 ：
青岛高测科技股份有限公司
申请人地址 ：
山东省青岛市高新技术产业开发区火炬支路66号
代理机构 ：
北京卓岚智财知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
郭智
优先权 ：
CN201922146712.5
主分类号 ：
B25J5/02
IPC分类号 ：
B25J5/02 B25J9/02 B25J15/08 B25J11/00 B24B41/00 B24B27/00 B24B41/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25J
机械手；装有操纵装置的容器
B25J5/00
装在车轮上或车厢上的机械手
B25J5/02
沿导轨移动的
法律状态
2020-07-10 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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