一种分体式局部洁净环境制造装置

专利权的终止

摘要

本实用新型公开了一种分体式局部洁净环境制造装置，包括洁净送风模块和洁净空间模块，洁净送风模块包括洁净风箱、风机和过滤组件，洁净空间模块包括层流罩以及呈扁平结构的匀流箱，匀流箱通过风管与洁净风箱连通，匀流箱上均匀分布有匀流箱出风小孔，匀流箱中设置有挡风隔板。采用以上技术方案，洁净送风模块可放置在合适位置，远离作业现场，而位于作业现场的层流罩的重量和体积均得到大幅降低，既适用于在空间较狭窄的作业现场，也可调整其支架用于高空作业，设备的灵活性得到大幅度提升；并且，通过设置匀流箱，不仅保证了气流的均匀性，更保证了气流风速不致显著下降，能够更好地保持层流罩内部的洁净环境。

基本信息

专利标题：

一种分体式局部洁净环境制造装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922154039.X

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-04

授权号：

CN210723672U

授权日：

2020-06-09

发明人：

程晓锋张惠鸽朱成银叶琳秦朗游丹杨存榜张涛张可周国瑞王洪彬

申请人：

中国工程物理研究院激光聚变研究中心

申请人地址：

四川省绵阳市游仙区绵山路64号

代理机构：

重庆为信知识产权代理事务所(普通合伙)

代理人：

蔡冬彦

优先权：

CN201922154039.X

主分类号：

H01S3/02

IPC分类号：

H01S3/02 H01S3/042