一种电子级混合气体的配置装置

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摘要

本实用新型涉及气体检测设备技术领域，尤其是涉及一种电子级混合气体的配置装置。本实用新型的技术方案是这样实现的：一种电子级混合气体的配置装置，包括用于配置混合气体的配置箱和若干均匀安装在配置箱顶部且与配置箱连通的进气管，其特征在于：各进气管与配置箱的连接处均设置有用于控制进气管与配置箱的连接口通断的电磁截止阀；且各进气管上安装有第一清洗装置；所述第一清洗装置包括具有容纳空间的储水箱、抽水泵、两位三通电磁换向阀、具有容纳空间的反应液储备箱、清洗液混合箱、控制器以及比例阀。本实用新型实用性强，易于推广。

基本信息

专利标题：

一种电子级混合气体的配置装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN201922163871.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2019-12-06

授权号：

CN211384889U

授权日：

2020-09-01

发明人：

杨利于青玉王占峰

申请人：

浙江西亚特电子材料有限公司

申请人地址：

浙江省衢州市柯城区衢州绿色产业集聚区华荫北路39号

代理机构：

衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

高永志

优先权：

CN201922163871.6

主分类号：

B01F15/02

IPC分类号：

B01F15/02 B01F3/02